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cvd真空管式爐結(jié)構(gòu)的實(shí)質(zhì)性比以往更便捷快速
新聞分類: 技術(shù)資訊 瀏覽:3193 日期:2019/05/19
在對(duì)氣路連接的方式用了較快速連接法蘭結(jié)構(gòu)從而使取放物料過程簡化到最快，僅僅需一支卡箍就可以完成氣路的連接，并取消了復(fù)雜法蘭的安裝，減少了爐管因安裝造成損壞的幾率大幅下降。
cvd真空管式爐爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，可使物料在不同溫度段可同時(shí)加溫，更有效的節(jié)能，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件一端采用表面溫度1690℃的硅鉬棒，另一端用溫度1500℃的硅碳棒。密封法蘭采用雙環(huán)密封的技術(shù)，提高爐管兩端的氣密。 消除氣路總成自身的應(yīng)能力，且杜絕自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)，兩端氣路支架支撐著氣路裝置先進(jìn)的空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合的熱感應(yīng)技術(shù)，在爐體表面溫升到達(dá)50℃左右時(shí)排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)加快體表降溫速度。 |
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